为什么要维护您的分子泵   


·制程物污染影响

        抽气速率/ Particel high

        严重时易发生严损

 

·用在有腐蚀气体下的真空环境如:

        防护层脱落.Rotor & stator &Base腐蚀后造成严损


·震动值过大

        Rotor磨损或高速坠落,通常振动值过大,无非是因为Pump本身微漏或是制程物累积在Pump內,这是Pump出現严损的前兆!

 

·防止严损事故发生

       分子泵使用到死机.严损机率超过8成以上

       Rotor / Base /Shaft  N/G







 没有进行周期性维护的分子泵的Parts可能是这样的:










 正常周期性维护的分子泵的Parts应该是这样子的:


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