分子泵使用注意事项 

 

l  不能在前级泵工作时(前级管路接通时)和真空腔室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

l  分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要将分子泵的冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气,决不能从泵的前级管路充气。

l  选择前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级处于分子流状态。

l  不能使涡轮分子泵低于额定工作转速下运转。

l  分子泵入口应装设防护网,避免异物进入分子泵内,损坏转子和定子叶片。

    

  Tips:

           1.以上为专业建议,非常建议您遵守。 

           2.当然,世事无绝对,您完全可以尝试不遵守。

           3.如果发生意外,请优先选择帕乇送修,非常感谢!  


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